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        多功能薄膜沉積設(shè)備(SPE)

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        多功能薄膜沉積設(shè)備(SPE)

          技術(shù)特點(diǎn) Features  

        · 將真空蒸鍍、反應(yīng)式等離子鍍膜、磁控濺射三大鍍膜模塊整合成一體,三種鍍膜技術(shù)可同時(shí)獨(dú)立運(yùn)行,實(shí)驗(yàn)開(kāi)機(jī)率媲美三臺(tái)設(shè)備,產(chǎn)能高。

        · 實(shí)現(xiàn)蒸鍍、RPD、PVD 真空連鍍工藝,提供多種組合鍍膜,落實(shí)疊層鈣鈦礦層工藝一步到位,有利于膜層界面優(yōu)化、減少裝卸、傳輸損傷,有利于量產(chǎn)設(shè)備的提效降本。

        · 采用與量產(chǎn)工藝統(tǒng)一的移動(dòng)鍍膜模式,提高未來(lái)擴(kuò)產(chǎn)成功率、減少大尺寸量產(chǎn)風(fēng)險(xiǎn)。

        · 自主程序設(shè)計(jì)、人性化操作界面;多層級(jí)權(quán)限設(shè)定,信息保密;嚴(yán)謹(jǐn)完善的安全設(shè)計(jì),防呆功能周密;綠色環(huán)保、節(jié)能設(shè)計(jì) 。